Izolatoare ceramice frezate pe 5 axe pentru echipamente semiconductoare și camere sterile

În lumea cu mize mari a producției de semiconductori și a mediilor din camerele sterile, fiecare componentă trebuie să ofere performanțe impecabile. LaPFT, ne specializăm în meșteșuguriIzolatoare ceramice frezate pe 5 axecare redefinesc precizia și fiabilitatea. Cu peste 20+Cu ani de experiență, soluțiile noastre sunt proiectate pentru a satisface cerințele exigente ale echipamentelor semiconductoare, asigurând stabilitatea termică, izolația electrică și funcționarea fără contaminare în medii ultra-sensibile.

De ce să alegeți izolatorii noștri ceramici frezați pe 5 axe?

1.Capacități avansate de producție

Facilitatea noastră este dotată cufreze CNC cu 5 axe de ultimă generație, permițând o precizie la nivel micronic în modelarea ceramicilor avansate precum alumina (Al₂O₃), carbura de siliciu (SiC) și nitrura de aluminiu (AlN). Spre deosebire de metodele convenționale, prelucrarea pe 5 axe permite geometrii complexe - esențiale pentru componente precum pinii de ridicare ai plachetelor, piesele camerei de depunere și izolatorii rezistenți la plasmă.

Caracteristici cheie:

•Precizie:Toleranță de ±0,005 mm pentru integrare perfectă în instrumentele de litografie ASML sau în sistemele de gravare Lam Research.
•Versatilitatea materialelor:Optimizat pentru alumină 99,8%, SiC de înaltă puritate și alte ceramice avansate.
•Finisaj suprafață:Ra <0,2 μm pentru a minimiza generarea de particule în camerele sterile ISO Clasa 1.

2.Inginerie de proces proprietară

Inginerii noștri au dezvoltatcontroale de proces în buclă închisăcare se adaptează la fragilitatea ceramicii în timpul prelucrării. Prin combinarea tehnicilor de frezare uscată cu amortizarea vibrațiilor în timp real, obținem suprafețe fără fisuri și durate de viață extinse ale componentelor - chiar și în condiții de cicluri termice extreme (până la 1.600°C).

Inovație în centrul atenției:

•Protocoale de ameliorare a stresului:Minimizarea microfracturilor în izolatorii din AlN pentru aplicații CVD.
•Tratamente post-prelucrare:HIP (presare izostatică la cald) îmbunătățește densitatea și rezistența la coroziune.

3.Asigurarea riguroasă a calității

Fiecare izolator este supus unui procesInspecție în 12 etape, inclusiv:

•CMM (Mașină de măsurat în coordonate)validarea dimensiunilor critice.
•Testarea scurgerilor de heliupentru compatibilitate cu vidul.
•EDS (Spectroscopie cu raze X cu dispersie de energie)pentru a verifica puritatea materialului.

NoastreSistem certificat ISO 9001/14001asigură trasabilitatea de la achiziționarea materiei prime (aprovizionată de la furnizori de nivel 1, cum ar fi CoorsTek) până la ambalarea finală.

Aplicații: Unde precizia întâlnește performanța

Izolatorii noștri sunt de încredere în:

•Instrumente de gravare și depunere:Componente acoperite cu SiC pentru rezistență la plasmă în modulele Applied Materials™.
•Implantatori de ioni:Pini de ridicare din alumină cu acoperiri antistatice pentru a preveni alunecarea plachetei.
•Sisteme de metrologie:Izolatori cu dilatare termică redusă pentru platforme de litografie EUV.

Studiu de caz:Un producător important de echipamente originale (OEM) de semiconductori a redus timpul de nefuncționare a sculelor cu 40% după trecerea la capetele noastre de duș SiC personalizate, care au depășit performanța pieselor concurenților în procesarea napolitanelor de 300 mm.

Dincolo de producție: o abordare în parteneriat

•Prototipare rapidă:Trimiteți fișierele CAD și primiți prototipuri funcționale în 7 zile.
•Ambalare pentru camere sterile la fața locului:Ansamblu opțional pentru cameră curată clasa 10 pentru integrarea directă a sculelor.
•Asistență tehnică pe viață:Inginerii noștri oferă servicii de analiză a uzurii și re-prelucrare pentru a prelungi ciclul de viață al componentelor.